序号 | 名称 | 指标 |
1 | 测量范围 | 10-8~105Pa |
2 | 质量 | 2kg |
3 | 功耗 | 30w |
4 | 通信接口 | RS422,显示器 |
5 | 法兰接口 | CF、KF |
团队自主研发的全量程复合真空计实现了产业化,测量范围覆盖1.0×105〜1.0×10-8Pa,由皮拉尼规和电离规组成,具备响应快、重复性好、测量稳定可靠、抗干扰能力强等优点,特别适合于宽量程真空的测量。
该全量程复合真空计可做成标准板卡,也可设计成单独仪器并自带显示,利于现场测试,还可通过总线与控制器相连,实现多路真空度的测量,并兼容目前市场上的控制机柜和所有接口法兰,在提供高精准测试的同时满足系统集成的要求,方便新老系统实现真空计的更换和设置,不增加额外的硬件配置,具备广泛的应用前景。