半导体传感器性能测试系统是一套成熟的Si半导体传感器空间级测试体系。该系统可实现传感器的静态参数检测、电性能测试、核特性测试、温度可靠性测试等系列空间级筛选测试，主要包括显微镜、数字源表、在线采集系统、多道能谱测试系统、高低温试验箱、低真空试验箱等，可提供一整套空间用传感器的筛选测试条件。
该系统配套标准辐射源，包括Sr-90，Bi-207,Am-241，C-14，Fe-55等，可满足不同粒子需求。
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图4 半导体传感器性能测试系统
该半导体传感器性能测试系统可提供的指标如下：
表1半导体传感器性能测试系统技术指标
系统功能 | 系统指标 |
显微镜 | 视角35°，可调变倍比限值变档倍数：10×、20×、30×、40×、50× |
数字源表 | 源电压：±200mV～±1100V 源电流：±1μA～±1A 输出功率：20W |
多道能谱测试系统 | 高压：1000V 前放：ORTEC142A（45mV/MeV）/142B（20mV/MeV） 主放：ORTEC 570（增益1～1500连续可调） 多道：8192 标准源：Sr-90，Bi-207,Am-241，C-14，Fe-55 |
高低温试验箱 | 温度范围：-60℃～130℃ 温度均匀度:2℃ 工作室：280×410×300mm |
低真空试验箱 | 真空度：0.1MPa 控温范围：室温～100℃ |
伏安特性测试系统 | 20路同步检测，在线采集 测试精度：1nA 电压源：±200mV～±1100V |
该半导体传感器性能测试系统的主要应用方向：
Si半导体传感器的电性能测试（V-I特性、漏电流、全耗尽电压）、核特性测试（能量分辨率、粒子相应一致性）、高低温噪声检测以及老练测试等。
典型应用案例
目前已服务于多个重大型号任务，例如风云三号系列星、风云四号系列星、空间站系列星、嫦娥等
负责人、联系人（人员链接）电话及邮箱提供
孙莹 010-62561970 sunying@nssc.ac.cn
张珅毅010-62565870 zsy@nssc.ac.cn