真空紫外波段测试定标可对工作波段覆盖19.5nm-200nm的载荷进行性能测试和定标，测试项目包括：整机级辐射亮度定标、辐射照度定标、空间分辨率测试、光谱分辨率测试等，光学元件真空紫外波段反射率、透射率测试，探测器光谱响应特性测试等。测试系统包括无油高真空舱一套、高精度真空六维转台一套、远紫外平行光管一套、极远紫外单色仪3套、氘灯光源2套、空心阴极灯光源一套、NIST传递标准探测器一套。
测试定标系统指标：
测试波段范围：19.5nm-200nm
光谱分辨率：0.1nm
平行光管口径：200mm
六维转台最大载重：60kg
真空舱尺寸：2000mm*Φ1500mm
真空度：优于6*10-3Pa
真空紫外测试系统原理图
真空系统及平行光管