辐射波长：0.05-35nm（相当于光子能量35eV-24.8keV）；
光束平行度：优于3角分；
光斑尺寸：直径200mm；
高次谐波抑制率：占比低于0.3%；
可用于宽视场软X射线-极紫外成像仪器定标，以及镜头、探测器效率定标。
辐射波长：0.05-35nm（相当于光子能量35eV-24.8keV）；
光束平行度：优于3角分；
光斑尺寸：直径200mm；
高次谐波抑制率：占比低于0.3%；
可用于宽视场软X射线-极紫外成像仪器定标，以及镜头、探测器效率定标。
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